Conformality of Plasma-Assisted ALD: Physical Processes and Modeling
نویسندگان
چکیده
منابع مشابه
Role of film conformality in charging damage during plasma-assisted interlevel dielectric deposition
While observations of charging damage during plasma-assisted deposition have been erratic thus far, concern abounds that it may worsen as aspect ratios increase and high-density plasmas are used more frequently. Simulations of pattern-dependent charging during interlevel dielectric deposition reveal that the initial conformality of the dielectric film plays a crucial role in metal line charge u...
متن کاملdetermination of some physical and mechanical properties red bean
چکیده: در این تحقیق، برخی خواص فیزیکی و مکانیکی لوبیا قرمز به-صورت تابعی از محتوی رطوبت بررسی شد. نتایج نشان داد که رطوبت بر خواص فیزیکی لوبیا قرمز شامل طول، عرض، ضخامت، قطر متوسط هندسی، قطر متوسط حسابی، سطح تصویر شده، حجم، چگالی توده، تخلخل، وزن هزار دانه و زاویه ی استقرار استاتیکی در سطح احتمال 1 درصد اثر معنی داری دارد. به طوری که با افزایش رطوبت از 54/7 به 12 درصد بر پایه خشک طول، عرض، ضخام...
15 صفحه اولAld Conformality and Optimization in Ultrahigh Aspect Ratio Nanopores for Electrical Energy Storage Nanodevices
In exploiting nanostructures for applications such as energy devices, conformal coatings are playing an increasingly crucial role. Atomic layer deposition (ALD) is receiving responsibility for the most demanding deposition in nanotechnology, especially in terms of conformality due to its self-limiting surface reactions. In this work, we investigate the effects of reactant dosage on deposition r...
متن کاملStatistical Modeling for Oblique Collision of Nano and Micro Droplets in Plasma Spray Processes
Spreading and coating of nano and micro droplets on solid surfaces is important in a wide variety of applications including plasma spray coating, ink jet printing, DNA synthesis and etc. In spraying processes, most of droplets collide obliquely to the surface. The purpose of this article is to study the distribution of nano and micro droplets spreading when droplets impact at an oblique a...
متن کاملذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of The Electrochemical Society
سال: 2010
ISSN: 0013-4651
DOI: 10.1149/1.3491381